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环球快报:万业企业旗下嘉芯半导体连续中标特色工艺线项目


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据必联网发布的中标结果公告显示,3月7日,嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)再次中标某公司的特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为万业企业旗下嘉芯半导体的子公司。

自2022下半年开始,万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备,包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)等。

来源:中国证券报·中证网 作者:倪伟

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