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微机电系统特点有哪些 微机电系统应用领域介绍 微机电系统特点1、微型化MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比，不仅体积缩小 2022-09-26 10:24:02

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