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微机电系统会产生科里奥利加速度吗 传感MEMS技术属于微机电系统吗 微机电系统的工作原理对固定指施加电压,并交替改变电压,让一个质量块做振荡式来回运动,当旋转时,会产生科里奥利加速度,此时就可以对其 2022-09-23 16:29:13